碳化(huà)硅晶圆ID激光标刻设备

全自动晶圆激光标刻(kè)机主要是对各种外(wài)延硅晶圆片、先进(jìn)封装复合晶圆(yuán)、SIC晶圆(yuán)进行精(jīng)密(mì)标记;适用于6inch,8inch,12inch晶(jīng)圆打码

产品描述

产品特点:

• 专业料盒上下料,机械手取(qǔ)料、打标、放料回(huí)原位

• 全自动运行,视觉(jiào)自动寻边(biān)定位机构,加工效(xiào)率高

• 自(zì)动检测料盒有无产品,机械手自带Mapping功能(néng),可选择双面打标

• 晶圆(yuán)机(jī)械(xiè)手(shǒu)完(wán)成设备内的晶圆片运转,JEL专用晶圆(yuán)机械手(shǒu)

• 标配(pèi)99.995%0.3um过(guò)滤的FFU,有(yǒu)效保障机内洁净度

 

产品(pǐn)应用(yòng)领域:

全自(zì)动(dòng)晶(jīng)圆激(jī)光标刻机(jī)主要是对各种外延硅晶圆片、先进封装复合晶圆(yuán)、SIC晶(jīng)圆进行精密标记;适(shì)用于6inch,8inch,12inch晶(jīng)圆(yuán)打(dǎ)码

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