碳化（huà）硅晶圆（yuán）ID激光标刻设备

全自动（dòng）晶圆激（jī）光（guāng）标刻机主要是对各种外延硅晶圆（yuán）片、先进封装复合晶圆、SIC晶圆进（jìn）行精密标记；适用于6inch,8inch,12inch晶圆打（dǎ）码

产品（pǐn）描述

产品特点（diǎn）：

• 专业料盒上下料，机械手取料、打标、放（fàng）料回原位

• 全自动运行，视觉自（zì）动寻边定位（wèi）机构，加工（gōng）效率高

• 自动（dòng）检测（cè）料盒有无产（chǎn）品，机械手自带Mapping功能，可选择（zé）双面打标

• 晶圆机械手完成设备内的晶（jīng）圆片（piàn）运转，JEL专用晶圆（yuán）机（jī）械手（shǒu）

• 标配（pèi）99.995%0.3um过滤的FFU，有效保障机内洁净度

 

产品应用领域：

全自动晶圆激（jī）光标刻机主要是对各种外延硅晶圆片（piàn）、先进封装（zhuāng）复合晶（jīng）圆、SIC晶圆进行（háng）精密（mì）标记；适用于6inch,8inch,12inch晶圆（yuán）打码

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