晶圆激光(guāng)隐形(xíng)切割(gē)机

全自动晶圆激(jī)光隐形(xíng)切割设备主要是适用(yòng)于各种半(bàn)导体(tǐ)硅,锗,碳化硅,氧化锌等晶圆材料,隐形切割(gē)是将激(jī)光(guāng)聚光于工件内部,在(zài)工件内部形成改(gǎi)质层,通过扩展胶膜等方法将工件分割成芯片的切割方法;适用于4inch,6inch,8inch 晶(jīng)圆。

产(chǎn)品描述

产(chǎn)品(pǐn)特点:

•FFC 上下料方式,取(qǔ)料(liào),切割,放料回原位。

• 多(duō)相机视觉抓(zhuā)取晶圆边及(jí)特征(zhēng)点定(dìng)位,自(zì)动对位(wèi),自(zì)动寻焦;高精密运动(dòng)平台。

• 全自(zì)动上下料 , 光路稳定(dìng)可靠 , 高精度(dù)视觉系(xì)统 , 加(jiā)工效率(lǜ)高。

• 首镭(léi)自主(zhǔ)研发(fā)软件系统,操作简易,功能齐全。

• 可选(xuǎn)焦点:单焦点,双焦点(diǎn),多焦(jiāo)点(可选)。

 

产品应(yīng)用领域:

全自动晶圆激光隐形切割设(shè)备主要是适用于各种(zhǒng)半导体硅,锗,碳化硅,氧化锌等晶圆(yuán)材料,隐形切割是将激光聚光于工件内部(bù),在(zài)工件内部(bù)形成改质层(céng),通过扩展胶膜等方法将工件(jiàn)分割成芯片的切割方法;适用于4inch,6inch,8inch 晶圆。

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